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    一般的住宅楼或商业楼盘,地下室一般用作地下停车场,每层面积比之建筑占地面积,只少不多。然而这栋实验楼的情况明显有异,地下室的面积,比之上层建筑占地面积多出来太多了。

    “其实这栋实验楼的主体是地下这三层,所有的重点设备和保密项目,都安排在地下,面积大一些也属正常。地面以上的那些楼层都是一些办公室,会议室之类的次要场所。”周万达开口,给乔瑞达解释了地下建筑的重要性。

    此处无尘车间的配置相当的高级,四周墙壁上刷的是乳白色专用无尘涂料,地面上铺的是淡蓝色环氧地坪漆,吊顶上使用累铝合金方管龙骨,和铝塑板面层,空调透风口、回风口、灯具,均匀分布其间,看起来非常的协调。在地面上,沿着一条直线,安装着大大小小上千台设备。此时所有设备都处在开启状态,有数百名穿着无尘服的工作人员正在其间走动忙碌。

    看到如此情形,乔瑞达突然就觉得,那600万的流片费用,一点也不贵了。

    “这里怎么会有如此多的设备,生产一枚小小的芯片竟然需要这么多设备吗”

    “这是一条芯片生产试验线,由1216台设备构成,主要用于芯片流片测试,新工艺新技术探索,微电子专业学生培训等用途。这还只是试验线,设备数量要少的多,如果是晶圆代工厂的正规生产线,设备数量至少在3000台以上,才能保证芯片的大批量不间断生产。”

    说话之人是王院士,这条芯片生产线,就是在他的主导之下建成的,可以说这里的每一台设备,每一条传送带,他都了如指掌。

    王院士将乔瑞达和周万达二人,带到生产线起始端,开口继续介绍道“咱们这条芯片生产线,是在一条013μ生产线的基础上改造的,所以使用的还是六英寸晶圆。现在国际主流的芯片生产线,已经用上了八英寸甚至十二英寸的晶圆,在良品率和生产成本上,都有巨大的优势。”

    “这次只是流片测试,不是批量生产,所以使用的晶圆只有30片。现在正在进行的步骤是涂胶,也就是使用涂胶机,将光刻胶均匀的涂抹在晶圆的表面。下面要进行的步骤是第一次光刻机光刻,后面还有显影、刻蚀、离子注入等步骤。”

    王院士不愧是老牌教授,基础知识扎实,口才出众,讲解的深入浅出,即使乔瑞达这个第一次接触芯片生产的新人,也听了个清楚明白。

    就这样,乔瑞达跟在王院士的身后,将芯片的生产流程,从头到尾的跑了一遍。由于要用到多重曝光技术,涂胶、光刻、显影等步骤,要来回折腾好几次,其间还要更换掩膜版和部分掺杂用料,耗时十分之长。所以当30片六寸晶圆,跑完所有工序,走下生产线的时候,已经是傍晚时分了。

    加工完成的硅晶圆,表面多了一些花花绿绿的刻蚀图案,看起来非常的漂亮。王院士亲自动手,将这30片硅晶圆,放到一個密闭容器中,封存了起... -->>

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